掩膜版又称光罩、光掩膜、光刻掩膜版、掩模等,是微电子制造过程中的图形转移工具或母版,属光刻工艺中的关键耗材,在生产中起到承上启下的关键作用,是产业链中不可或缺的重要环节。近年来,随着下游应用的快速发展,我国掩膜版市场持续增长,掩膜版技术水平、生产能力、产品种类都取得了明显进步,但新型显示与半导体用部分中高端产品仍高度依赖进口,掩膜版生产上游关键原材料多个产品仍存短板。在复杂的国际环境下,国内新型显示与半导体行业发展面临诸多挑战,增强产业链供应链自主可控与降本提质已成为行业发展的重要目标任务。
为加快国内新型显示与半导体用中高端掩膜版及关键原材料关键核心技术突破,优化现有材料性能,推动新产品系列化发展,增强产业链协同创新,由电子化工新材料产业联盟联合中国电子材料行业协会石英材料分会共同主办,成都路维光电有限公司承办的“新型显示和半导体用掩膜版及关键原材料技术交流会”于2023年11月30日在成都成功举办。会议由中国电子材料行业协会常务副秘书长、电子化工新材料产业联盟秘书长鲁瑾主持。
成都路维光电科技有限公司总经理陈俊荣参加大会并致辞。他指出,掩膜版作为连接工业设计与工艺制造的关键,其精度与质量直接关乎下游产品的良品率。全球市场来看,新型显示用掩膜版,中国大陆已占有部分市场份额,但上游石英仍处日韩厂商垄断状态,亟需加速攻关,需要产业上下协作,共同攻克。他表示,路维光电将携手上下游企业,立足新型显示与半导体两大领域,持续加大投入,加强合作,不断提升产品精度与品质,推动行业高质量发展。
主旨演讲环节,深圳市路维光电股份有限公司研发总监司继伟、江苏亨芯石英科技有限公司首席技术官肖华、安徽禾臣新材料有限公司董事长兼总经理李加海分别从掩膜版、石英基材及空白掩膜版等不同角度做了分享。
深圳市路维光电股份有限公司研发总监司继伟在题为《半导体和显示面板用掩膜版的现状、技术与市场需求》中,详细介绍了掩膜版及其应用,掩膜版的种类和特征,掩膜版的制造,掩膜版上游供应情况,对空白掩膜版的要求以及市场需求和建议。
江苏亨芯石英科技有限公司首席技术官肖华在题为《光掩模石英基材的技术挑战》中指出,石英基材产品技术门槛高,研发周期长,面临高透过率、高均匀性、极低应力双折射、大尺寸低成本、照射耐久性等多个挑战,并给出了相关的开发方案。
安徽禾臣新材料有限公司董事长兼总经理李加海在题为《禾臣新材料空白掩膜版项目现状与规划》中,重点介绍了安徽禾臣项目进展,产品布局,产能分布,未来发展等。
研讨交流环节,与会各代表畅所欲言,就各自公司情况做了介绍,并就掩膜版及关键原材料发展存在的问题给出了各自观点,纷纷献言献策,研提解决方案,气氛热烈。
本次会议,北京京东方显示技术有限公司、TCL华星光电技术有限公司、深圳市路维光电股份有限公司、成都路维光电有限公司、江苏亨芯石英科技有限公司、安徽禾臣新材料有限公司、长沙韶光芯材科技有限公司、上海传芯半导体有限公司、湖北菲利华石英玻璃股份有限公司、中国建材总院石英新材料所、长飞石英技术(武汉)有限公司、中天科技精密材料有限公司等上下游厂商30余位代表齐聚一堂,深度探讨了新型显示与半导体用掩膜版及关键原材料发展当前存在的问题,分析了新格局下行业发展的新思路,深化了产业交流,对推动我国掩膜版产业稳步健康发展起到了良好的促进作用。