7月29日,中船特气发布公告称,根据公司高纯电子特种气体发展规划,为快速推进高纯电子气体产业链发展,优化完善产能布局,提升行业竞争力,中船特气拟在邯郸市肥乡区建设年产170吨高纯电子气体项目。
中船特气于 2021 年新增了 1500 吨/年六氟化钨的产能,目前,公司现有六氟化钨产能为 2230 吨/年。公司产能布局主要基于以下考虑:一是看好集成电路尤其是存储芯片工艺技术提升对六氟化钨产品需求的增加; 二是考虑到产能建设资本投入的性价比。
同时,基于电解氟化工艺,中船特气研发生产了三氟甲磺酸系列产品,如双(三氟甲磺酰)亚胺锂、三氟甲磺酸锂、 三氟甲磺酸、三氟甲磺酸三甲基硅酯、三氟甲磺酸酐等, 其中三氟甲磺酸产能 660 吨,双(三氟甲磺酰)亚胺锂最大产能 600 吨。