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时间:2020-12-30 信息来源:气体圈子 作者: 浏览次数:988
年产3130吨硅基电子气体项目举行开工仪式
【摘要】

12月30日,洛阳中硅高科电子信息材料项目在河南省孟津县华阳产业集聚区正式开工洛阳中硅高科电子信息材料项目计划建设电子信息行业硅基新材料及电子特生产线,打造国家前瞻性基础材料产业基地和创新中心。项目总投资约15.6亿元,计划于2021年1月开始实施,2022年10月建成。

项目产品主要包括两部分:高纯多晶硅产品,高纯四氯化硅与硅基电子气体产品。建设一条300t/a高纯多晶硅生产线,其中区熔级多晶硅占55%,电子级多晶硅占45%;建设一条高纯四氯化硅与硅基电子气体生产线,高纯四氯化硅产品用于下游光纤预制棒生产,包括6000t/aVAD四氯化硅和纯度更高的120t/a PCVD级四氯化硅;硅基电子气体产品用于下游集成电路制造的外延、化学气相沉积、离子注入、掺杂、刻蚀、清 洗、掩蔽膜生成等工艺过程,包括 80t/a电子级四氯化硅、2000t/a电子级三氯氢硅、500t/a 电子级二氯二氢硅、50t/a 原料级六氯乙硅烷、50t/a 电子级六氯乙硅烷和500t/a 电子级正硅酸乙酯。项目高纯四氯化硅及硅基电子气体均采用中硅高科现有的技术,以精馏提纯工艺为主,辅以络合、吸附等技术。