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时间:2021-12-20 信息来源:联盟秘书处 作者: 浏览次数:1437
2021·湿电子化学品及电子气体高质量发展论坛在安徽合肥成功举办
【摘要】由电子化工新材料产业联盟主办的 “2021·湿电子化学品及电子气体高质量发展论坛”于12月16~17日在安徽合肥成功举办。

习近平总书记曾多次在重要讲话中都提出要以科技创新催生新发展的动能,实现高质量的发展,必须大力提升自主创新能力,尽快突破关键核心技术,抓创新就是抓发展,谋创新就是谋未来。

2021年,政府工作报告中介绍“十四五”时期主要目标任务时也强调,坚持创新驱动发展,加快发展现代产业体系。要推进产业基础高级化、产业链现代化,改造提升传统产业,发展壮大战略性新兴产业。

湿电子化学品和电子气体是横跨电子信息与化工领域重要的关键性基础材料,是电子材料及精细化工结合的高新技术产品,是集成电路、新型显示等产业重要的支撑材料,在政策引导及市场驱动下,近年来,我国湿电子化学品和电子气体产业取得了长足进步,但一些核心材料在满足市场、满足需求方面还需进一步提高,存在“卡脖子”风险,尚难以满足我国战略性新兴产业高质量发展需求。

“十四五”时期增强产业链供应链自主可控是行业发展重要目标任务,为推动国内集成电路、新型显示等产业用高端湿电子化学品和电子气体高质量发展,加快关键核心技术突破,产业链协同创新,实时响应国家号召,由电子化工新材料产业联盟主办的 “2021·湿电子化学品及电子气体高质量发展论坛”于1216~17日在安徽合肥成功举办。

会议由中国电子材料行业协会常务副秘书长、电子化工新材料产业联盟秘书长鲁瑾主持。

主旨演讲环节,天津大学精馏技术国家工程研究中心李鑫钢主任做了题为《绿色精馏技术及其在特气分离过程中的应用》的主旨报告。报告中,他指出,精馏过程是化学工业中最主要的分离方式,也是能耗量最大的过程,约占行业能耗总量的30%。作为特气生产中最主要的分离方法,先进精馏技术的应用可显著减低特气生产过程的能耗90%以上,显著提高经济效益。

中芯国际集成电路制造有限公司赵健资深专家做了题为《前驱体材料在集成电路制造中的应用》的主旨报告。报告中,他指出,得益于先进工艺ALD/CVD技术进阶,作为核心关键工艺材料的前驱体产品应用更加广泛,相应的基础材料研究,国内配套产业,体系搭建等都迫在眉睫。

维信诺科技股份有限公司苗占成阵列研究员做了题为《AMOLED中湿法工艺的应用与发展》的主旨报告,重点介绍了AMOLED显示屏制造工艺中,湿法工艺的应用与发展,如湿法刻蚀工艺,Strip工艺,清洗工艺等。

有研半导体硅材料股份有限公司刘斌副总经理做了题为《硅片生产工艺及材料需求》的主旨报告,重点介绍了硅片各主要生产工艺对湿电子化学品需求,以及材料的国产化现状,同时,介绍了硅片发展过程中对湿化学品新的要求。

中国计量科学研究院周泽义研究员做了题为《半导体芯片制造过程中电子特气的品质在线监控技术》,上海正帆科技股份有限公司李东升研发总监做了题为《电子特气储存与运输安全》,江苏雅克科技股份有限公司何俊经理做了题为《先进半导体前驱体材料的技术发展》,杭州格林达电子材料股份有限公司邢攸美研发经理做了题为《光刻工艺中湿电子材料研究》,颇尔(中国)有限公司龚志华电子材料业务负责人做了题为《精度和良率的关键—全球前沿过滤技术分享》,昊华气体有限公司张金彪副主任做了题为《电子特气洁净制备技术研究》,华南理工大学肖静教授做了题为《适用于气体深度净化的高效吸附材料》,福州大学房龙翔博士做了题为《双子表面活性剂的设计、合成及在电子清洗领域的应用》的行业、主题报告。报告内容精彩,前瞻性强,获得感足。

为增进上下游企业相互了解,促进材料企业和下游集成电路、平板显示等电子信息产业合作,推进产学研应用,会议期间,联盟还专门搭建了沟通交流平台,组织了集成电路、OLED面板用材料应用对接交流座谈,长鑫存储、维信诺等供应链及企划部相关负责人,以及各材料企业围绕座谈会主题,畅所欲言,充分沟通,提出了很多中肯、有针对性的意见建议。

本次会议,天津大学、华南理工大学、福州大学、中国计量科学研究院等大学和科研院所,中芯国际、长鑫存储、维信诺等下游应用单位,华特气体、兴福电子、格林达等生产企业,以及检测、分析等产业链相关单位代表齐聚一堂,共同围绕湿电子化学品和电子气体技术、产品、需求、应用,展开研讨,对推动国内高端湿电子化学品各电子气体高质量发展,技术创新,加快核心技术突破与产业化应用,同时加强下游需求应用与科研、产业企业的协同研发、技术交流起到了强有力的支撑作用