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时间:2022-05-31 信息来源: 作者: 浏览次数:350
华懋科技:徐州博康目前拥有10余款KrF光刻胶,其中部分款已实现量产
【摘要】

华懋科技日前在投资者互动平台表示,徐州博康目前拥有10余款KrF光刻胶,主要应用在55-14nm节点,其中部分款已实现量产。徐州博康的KrF光刻胶产品主要分为高分辨率正胶、高分辨率负胶、金属剥离负胶、厚胶四大类。高分辨正胶厚度可涵盖0.15um-1.2um,极限分辨率可达到120nm,徐州博康目前在积极推动高分辨率产品在国内主要晶圆厂客户的验证评估。

华懋科技是一家新材料科技企业,作为我国汽车被动安全行业龙头企业,产品涵盖汽车安全气囊、气囊布、安全带等,公司拥有雄厚的研发力量、健全的生产线、先进的生产设备、严格的生产管控及完善的检测体系,产品深受海内外客户的肯定与信赖。

2021年,公司通过产业基金的形式布局光刻材料业务板块,投资国内领先的半导体光刻胶企业徐州博康信息化学品有限公司,并与徐州博康成立合资公司东阳华芯电子材料有限公司,建立光刻材料研发、生产及销售全产业链经营。