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时间：2022-09-09 信息来源：南大光电 作者： 浏览次数：825

南大光电：已有4款硅前驱体产品进入国际先进制程企业验证

【摘要】

南大光电披露调研活动信息公告，公司先进制程金属前驱体和硅前驱体研发项目稳步推进。其中28nm制程项目中有7款“卡脖子”前驱体材料全部通过客户验证，具备稳定供应的能力。通过对前期引进的19项硅前驱体专利技术的消化、吸收和进一步研发，已有4款硅前驱体产品进入国际先进制程企业验证。