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时间:2022-11-11 信息来源: 作者: 浏览次数:573
南大光电:公司ArF光刻胶主要检测设备如光刻机也已正常投入使用
【摘要】
南大光电(300346.SZ)11月11日在投资者互动平台表示,公司ArF光刻胶所需的关键配套材料均为自主研发生产,主要检测设备如光刻机也已正常投入使用。 目前ArF光刻胶仍在验证中,需要根据验证进度和客户订单情况确定规模量产时间。