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时间：2022-11-11 信息来源： 作者： 浏览次数：573

南大光电：公司ArF光刻胶主要检测设备如光刻机也已正常投入使用

【摘要】

南大光电（300346.SZ）11月11日在投资者互动平台表示，公司ArF光刻胶所需的关键配套材料均为自主研发生产，主要检测设备如光刻机也已正常投入使用。目前ArF光刻胶仍在验证中，需要根据验证进度和客户订单情况确定规模量产时间。