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时间:2022-11-09 信息来源: 作者: 浏览次数:263
华懋科技:徐州博康有60多款光刻胶在研,部分产品已通过国内主流晶圆厂验证
【摘要】
近日,华懋科技发布投资者关系活动记录披露,徐州博康目前有60多款IC光刻胶处于研发改进阶段,品类覆盖i线、KrF、ArF干法、Arf湿法光刻胶,其中部分产品已经实现销售收入,还有部分产品已经通过国内12寸主流晶圆厂的良率验证,进入STR与MSTR阶段。