山东飞源气体有限公司成立于2015年4月,公司位于山东淄博,是一家致力于高纯含氟电子气体研究、开发与生产的新兴高新技术企业。
公司主要产品包括:三氟化氮、六氟化硫等。三氟化氮作为超大规模集成电路液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少基础性支撑原材料在电子行业中应用广泛;六氟化硫以其良好的绝缘性能和灭弧性能,被广泛应用于电力工业;同时,电子级高纯六氟化硫还是一种理想的电子蚀刻剂,被广泛应用于微电子技术领域。
2019年,南大光电采用现金收购及增资方式收购飞源气体57.97%股权,2021年11月,南大光电公告,拟以1.13亿元收购控股子公司飞源气体14.8563%的股权。