1、  项目内容，掌握了i线正胶、g线厚膜胶和248nm深紫外光刻胶的核心制备技术，研究开发出i线正胶、g线厚膜胶和248nm光刻胶。i线正胶、g线厚膜胶产品通过华润上华、上海华虹宏力、中国电科13所、江阴长电先进、苏州晶方五家单位的应用考核、满足IC制造的使用要求；248nm光刻胶产品通过上海华虹宏力、中国电科13所测试。

2、  项目实施期间建成了100吨/ 年规模的i线正胶生产线和20吨/年规模的g线厚膜胶生产线，建成了中试规模的248nm深紫外光刻胶示范线。i线正胶和g线厚膜胶均取得多家用户订单。

3、  项目培养博士2人、硕士5人，并为4名博士后提供了研发工作条件。

4、  项目申请专利32项，授权专利9项，制定企业标准2项，开发新产品3项。