名称:电子工业用氯气
级别:5N
企业:浙江博瑞电子科技有限公司
应用:半导体集成电路、液晶面板、光伏等生产领域
电子工业用氯气主要用于半导体制程中的蚀刻,光导纤维制造中的清洗等。产品规格为5N, 具体规格见下表:
项 目 |
指 标 |
Cl2 Purity (VF/10-2) ≥ |
99.999 |
CO2 (VF/10-6) ≤ |
1 |
CO (VF/10-6) ≤ |
0.5 |
CH4 (VF/10-6) ≤ |
0.1 |
H2 (VF/10-6) ≤ |
0.1 |
N2 (VF/10-6) ≤ |
1 |
O2 (VF/10-6) ≤ |
1 |
H2O (wcr/10-6) ≤ |
1 |
Metals(wcr/10-6) ≤ |
0.5 |
浙江博瑞电子科技有限公司
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