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产品介绍

电子工业用含氟气体CxHyFz主要用于半导体制程中的清洗和蚀刻。不同产品和配比用于不同的工艺制程。是用途最为广泛的清洗、蚀刻用气体。主要产品和规格见下表:

名称

化学式

规格

高纯一氟甲烷

CH3F

4N5

高纯二氟甲烷

CH2F2

4N8

高纯三氟甲烷

CHF3

5N

高纯六氟乙烷

C2F6

5N

高纯六氟丙烯

C3F6

4N

高纯八氟丙烷

C3F8

5N

高纯八氟环丁烷

C4F8

5N

浙江博瑞电子科技有限公司

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