名称：四氟化碳
级别：
企业：山东飞源科技有限公司
应用：半导体器件、
一、产品规格及参数指标
项目
单位
公司产品指标
CF4
Vol.%
≥99.999
N2
Vol .ppm
≤4.0
O2+Ar
Vol .ppm
≤1.0
CO
Vol .ppm
≤0.1
CO2
Vol .ppm
≤1.0
SF6
Vol .ppm
≤1.0
TFC
Vol .ppm
≤1.0
H2O
Vol .ppm
≤2.0
Express
as HF
Vol .ppm
≤1.0
二、产品应用
1、作为电子工业中的等离子蚀刻气体，其高纯气及高纯四氟化碳配高纯氧气的混合气广泛用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻。
2、用于电子器件表面清洗；3、也用作激光气体，用于低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。
山东飞源科技有限公司
刘光宇 销售总监
