一、产品规格及参数指标 项目 单位 质量标准 C4F6 Vol.% ≥99.9 O2+Ar Vol .ppm ≤10 N2 Vol .ppm ≤40 CO2 Vol .ppm ≤20 CO Vol .ppm ≤7 其他氟碳 Vol .ppm ≤700 HF Vol .ppm ≤10 二、产品应用  1.大规模集成线路的蚀刻，具有高选择性和高蚀刻比。  2.作为高分子单体 ,它的高聚物有良好的耐热性，防潮性和电学性能。 山东飞源科技有限公司 刘光宇 销售总监 地址：山东省淄博市高新区柳泉路125号先进陶瓷产业创新园B座2317 联系方式: 0533 8170450 15905333668 Email: lgy@sdfeiyuan.com