一、产品规格及参数指标 项目 单位 质量标准 C4F8 Vol.% ≥99.999 N2 Vol .ppm ≤3 O2 Vol .ppm ≤1 CO Vol .ppm ≤0.5 CO2 Vol .ppm ≤0.5 CH4 Vol .ppm ≤0.5 H2O Vol .ppm ≤1 其它有机物 Vol .ppm ≤4 酸度 wt.ppm ≤0.1 二、产品应用 1.       主要用在高压绝缘，超大规模集成电路的蚀刻。 2.       用作稳定无毒的食品气雾喷射剂、介质气体。 3.       电子工业用清洗剂。代替氯氟烃作为制冷剂。 山东飞源科技有限公司 刘光宇 销售总监 地址：山东省淄博市高新区柳泉路125号先进陶瓷产业创新园B座2317 联系方式: 0533 8170450 15905333668 Email: lgy@sdfeiyuan.com